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用原子力、Normaski和扫描电子显微镜等分析仪器，对高损伤阈值薄膜常采用的HfO2/SiO2薄膜进行了表面显微图象研究，分析了薄膜常见的表面缺陷，如节瘤，孔洞和划痕等。薄膜表面缺陷的激光损伤实验表明，不同缺陷的抗激光损伤能力大不相同，节瘤缺陷最低，约为15J/cm2，薄膜的损伤阈值主要由其决定，孔洞的激光损伤能力与节瘤相比较高，约为节瘤的2～3倍。节瘤缺陷在低能量密度的激光损伤所形成的孔洞，与镀制过程中形成的孔洞形貌相似，激光再损伤能力也相似。低能量密度的激光把节瘤缺陷变为孔洞缺陷是激光预处理提高薄膜