论文部分内容阅读
针对当前30KV的电子束发生装置阴极脉冲加速电压幅值低,材料表面处理透入深度太浅的问题,设计了一种基于Marx发生器的高压脉冲电子束源。建立以Marx发生器为核心的高压脉冲电子束源,解决了电子束源阴极电压幅值较低的问题。该束源主要包括：脉冲磁场发生模块、阳极潘宁放电模块、阴极放电模块、控制模块与真空模块。此Marx发生器的高压脉冲电子束源,具有电压等级高、体积小、材料表面处理透入深等特点。