液流悬浮超光滑纳米加工试验

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建立了超光滑表面加工的液流悬浮加工系统,并简述了液流悬浮超光滑加工系统及其工作原理。试验实现了光学材料k9玻璃的亚微米去除,并在其表面上获得了纳米级的超光滑表面。试验结果表明,采用液流悬浮加工技术对光学材料进行超光滑加工是一种有效方法。
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