密封器件内真空度检测方法的探讨

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一、前言密封器件内部气体的残存量,直接影响着器件的物理、化学性能,因此也就影响着器件的稳定性、可靠性、寿命等方面。所以,测试器件内部真空度,对提高元件性能方面的意义是值得注意的。
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