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本文主要简述在硅外延片生产过程中对于硅外延片的参数和性能的主要的质量控制方法、检验方法的研究,并对主要测量设备的功能进行介绍。
硅外延片质量控制与检验方法研究
【摘 要】
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本文主要简述在硅外延片生产过程中对于硅外延片的参数和性能的主要的质量控制方法、检验方法的研究,并对主要测量设备的功能进行介绍。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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科学与信息化
【发表日期】
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2018年14期
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