计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究

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分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.给出了旋转式致动器的无量纲化运动控制方程,并对它作了定性分析.定性分析表明:该运动方程相应的自治系统在相平面上的平衡点包括中心点、稳定的焦点和不稳定的鞍点;相图呈现周期轨道、同宿轨道以及异宿轨道.另外系统还存在分叉现象. The influence of Casimir force on the dynamic stability of a rotating nano-electromechanical (NEMS) actuator is analyzed.When the casimir effect is taken into consideration, the critical inclination angle of the rotary actuator is related to the critical voltage and the geometry of the structure. When the voltage is zero, the critical characteristic geometry of the rotary actuator under the action of Casimir force is deduced, and the non-dimensional motion control equation of the rotary actuator is given and analyzed qualitatively. The qualitative analysis shows that the corresponding equilibrium points of the autonomous system on the phase plane include the center point, the stable focus point and the unstable saddle point; the phase diagram shows the periodic orbit, the homoclinic orochronous orbit, and the system also has the bifurcation phenomenon.
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