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传统的高纯气体充装大多由“一”字型充装排与抽真空系统组成。这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性差等问题。重点针对上述问题在充装前氮气置换、抽真空,以及产品充装等一系列工作实施自动控制、精准充装方面进行了探讨,结合实际工作开发出了一套高纯气体自动化充装系统。
高纯气体自动充装的研究与应用
【摘 要】
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传统的高纯气体充装大多由“一”字型充装排与抽真空系统组成。这些手动系统存在操作繁琐,人工劳动强度大,充装后的产品纯度稳定性差等问题。重点针对上述问题在充装前氮气置
【机 构】
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河北钢铁股份有限公司邯郸分公司气体厂
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2021年2期
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