【摘 要】
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单晶硅是一种难加工材料,为优化单晶硅微铣削工艺参数,在水基切削液条件下,采用直径0.5 mm的金刚石涂层微铣刀,在单晶硅(100)晶面[100]晶向进行全槽铣削加工,基于正交实验研究每齿进给量、主轴转速和轴向切削深度对表面粗糙度的影响规律,分析单晶硅表面形貌,结合未变形切削厚度研究表面粗糙度变化规律。结果表明:表面粗糙度随着最大未变形切削厚度的增大而增大;影响表面粗糙度的主次因素依次为每齿进给量、主轴转速、轴向切深,在加工参数fz=0.05~0.4μm/z,n=10000~30000
【机 构】
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苏州科技大学机械工程学院,苏州市高效与精密加工技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51905363),江苏省中外合作办学平台联合科研项目(2019-21),江苏省研究生科研与实践创新计划项目(KYCX19_2018)。
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单晶硅是一种难加工材料,为优化单晶硅微铣削工艺参数,在水基切削液条件下,采用直径0.5 mm的金刚石涂层微铣刀,在单晶硅(100)晶面[100]晶向进行全槽铣削加工,基于正交实验研究每齿进给量、主轴转速和轴向切削深度对表面粗糙度的影响规律,分析单晶硅表面形貌,结合未变形切削厚度研究表面粗糙度变化规律。结果表明:表面粗糙度随着最大未变形切削厚度的增大而增大;影响表面粗糙度的主次因素依次为每齿进给量、主轴转速、轴向切深,在加工参数fz=0.05~0.4μm/z,n=10000~30000
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