【摘 要】
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该文使用SiO2和金属材料钨（W）构造布喇格反射叠层，将其应用于由横向电场激励体声波谐振器（XBAR）,并分析了金属层对谐振器性能的影响。所设计的谐振器以128°YX-切铌酸锂为压电层，Al为电极，SiO2和W为周期层叠结构，单晶硅作为衬底的固态装配型谐振器（SMR）,利用叉指电极换能器（IDT）激发出A1模式。首先计算声阻抗层厚度对SiO2/W叠层传输系数的影响，得到中心频率为3.7 GHz的布
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（U1430102）； 科技部科技支撑计划基金资助项目（GG22012412C）；
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该文使用SiO2和金属材料钨（W）构造布喇格反射叠层，将其应用于由横向电场激励体声波谐振器（XBAR）,并分析了金属层对谐振器性能的影响。所设计的谐振器以128°YX-切铌酸锂为压电层，Al为电极，SiO2和W为周期层叠结构，单晶硅作为衬底的固态装配型谐振器（SMR）,利用叉指电极换能器（IDT）激发出A1模式。首先计算声阻抗层厚度对SiO2/W叠层传输系数的影响，得到中心频率为3.7 GHz的布喇格阻带。横波（主模）在经过叠层时被反射，纵波（杂模）则部分地泄露到衬底。由于钨具有电导性，致使IDT与钨之间形成并联分布电容，改变了原有的电场分布，导致谐振器的耦合系数下降。通过实验测试谐振器的实际性能，获得耦合系数为12%。虽然W具有高声阻抗，但分布电容的影响恶化了电气参数。
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