【摘 要】
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目的：研制一种离子泵再生装置,使废弃的离子泵得以再生,寿命延长。方法：通过高压电击清除毛刺、酒精清洗使内部杂质清除、高温加热使钛膜再生、抽真空将废气排除等4个步骤完成,
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目的：研制一种离子泵再生装置,使废弃的离子泵得以再生,寿命延长。方法：通过高压电击清除毛刺、酒精清洗使内部杂质清除、高温加热使钛膜再生、抽真空将废气排除等4个步骤完成,使用C8051芯片控制全过程,实现自动化。结果：从8个损坏的离子泵中选取6个进行实验,再生后,其中5个能够达到使用要求,再生后合格率达到83%,达到了设计要求。结论：离子泵再生器采用模块化设计,利用成熟的技术和现有部件,增加了研制的可行性;通过单片机控制,实现了控制过程的自动化、流程化,减轻了工程人员的负担和操作错误造成的设备损坏。离子泵再
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