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半导体制造生产过程中,纯水是必要的.纯水的水源多为市政自来水,而在冬季自来水温度很低,升温往往需要消耗大量的热源.为实现能源的多层次利用,文中基于现场进行了深入的改造尝试和探讨,为同类厂房提供了较好的节能思路.
低温余热回收对纯水制备原水预处理的应用
【摘 要】
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半导体制造生产过程中,纯水是必要的.纯水的水源多为市政自来水,而在冬季自来水温度很低,升温往往需要消耗大量的热源.为实现能源的多层次利用,文中基于现场进行了深入的改造
【机 构】
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合肥鑫晟光电科技有限公司,安徽 合肥 230012
【出 处】
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江西建材
【发表日期】
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2021年2期
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