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本文对目前国内外制作高速集成运算放大器新采用的互补双极工艺作了一粗略分析。并结合作者在ＣＢ工艺方面的实验和国内当前工艺和设备水平、提出了两种现有技术条件下可以实现的ＣＢ工艺。
高频互补双极工艺探析
【摘 要】
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本文对目前国内外制作高速集成运算放大器新采用的互补双极工艺作了一粗略分析。并结合作者在ＣＢ工艺方面的实验和国内当前工艺和设备水平、提出了两种现有技术条件下可以实现的
【机 构】
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电子工业部第２４研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1995年5期
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