微波ECR等离子体中铝合金的全方位氮离子注入

来源 :丹东纺专学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Hai123321
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使用微波ECR等离子体对LD10铝合金材料进行全方位氮离子注入。AES深度分布结果表明,在30KV注入电压下,注入深度约有150mm。对相互垂直的两不同表面进行的硬度分析表明,全方位氮离子注入对试样的不同表面改性效果相同,硬度均获得明显提高。
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