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<正> 快速热处理(RTP)是一种瞬时均匀加热和冷却片子的方法。由于该工艺是对整个片子加热,因而加热和冷却要受到片子热质量和作用在片子上的热传输机理的限制。 采用RTP的主要理由是为了得到对注入层掺杂剂的优质活化(由于使用了高温处理片子),同时使掺杂剂的再分布减至最小
快速热处理系统发展趋势
【摘 要】
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<正> 快速热处理(RTP)是一种瞬时均匀加热和冷却片子的方法。由于该工艺是对整个片子加热,因而加热和冷却要受到片子热质量和作用在片子上的热传输机理的限制。 采用RTP的主
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1988年04期
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