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根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～ 10L/min的气体流量的能力
大流量压阻式流量传感器的研制
【摘 要】
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根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0 .1～ 10L/min的气体流量的能力
【机 构】
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北京大学微电子学研究院,中国科学院力学所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年Z1期
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