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真空混合漏孔,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等,示漏气体除存在超长反应时间外,还存在超长的延迟时间和保持时间.只有经该延迟时间后,检漏仪才能探得信号.为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性,在真空室内对检漏元件集体充氦,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定.