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无光刻法制备Bi2Sr2CaCu2O8+x单晶内禀结
无光刻法制备Bi2Sr2CaCu2O8+x单晶内禀结
来源 :低温物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:y567843241
【摘 要】
:
我们发展了一种简易的、无光刻法制备Bi2Sr2CaCu2O8+x单晶内禀结的新型工艺,制备过程简单,重复性好,成功率高,结面积在20μm×20μm~80μm×80μm之间.同时,我们测量了内禀结的直流I~V特性,得到了具有多路电
【作 者】
:
靳敏
单文磊
【机 构】
:
南京大学电子科学与工程系微结构科学技术高等研究中心
【出 处】
:
低温物理学报
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
高TC
超导体
无光刻法
工艺
BSCCO
单晶内禀结
【基金项目】
:
国家超导中心资助
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我们发展了一种简易的、无光刻法制备Bi2Sr2CaCu2O8+x单晶内禀结的新型工艺,制备过程简单,重复性好,成功率高,结面积在20μm×20μm~80μm×80μm之间.同时,我们测量了内禀结的直流I~V特性,得到了具有多路电阻分支的内禀约瑟夫逊直流I~V特性曲线
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