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报道了在室温和200kV电压下,以6.7×10^16Ag^+/cm^2剂量注入单晶SiO2的研究结果。Raman谱表明6.7×10^16Ag^+/cm^2注入使单晶SiO2非晶化;XPS结果初步说明注入的Ag以金属态存在;RBS谱表明Ag在SiO2中呈现双峰分布。TEM明场像显示了Ag在注入层中形成两种主要尺寸的球形超微粒。较大的直径为25nm左右,分布相当密集;较小的直径大约为5nm。注入层的光