【摘 要】
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为了研究柔性铰链形式对微定位平台性能的影响,对正圆、椭圆、直角和三角柔性铰链的三自由度平台的静态和动态特性进行比较分析.采用有限元软件ANSYS对其特性进行比较分析,分
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51265016）,江西省教育厅科技项（GJJl2358）,江西省科学基金资助项目（20122BAB216029）,江西理工大学科研基金项目（jxxjl2050）
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为了研究柔性铰链形式对微定位平台性能的影响,对正圆、椭圆、直角和三角柔性铰链的三自由度平台的静态和动态特性进行比较分析.采用有限元软件ANSYS对其特性进行比较分析,分析结果可得如下结论：不同平台的柔度有较大的差别,直角铰链平台柔度最大,三角铰链平台最小,正圆和椭圆柔性铰链柔度相近;铰链形式对平台运动性能有较大的影响,直角柔性铰链平台相对于其他平台具有更小的转角;不同铰链平台在各个方向的位移灵敏度存在差异,圆形铰链平台在各个方向具有更高的灵敏度;柔性铰链形式对平台的固有频率影响较大,直角铰链平台固有频率最
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