【摘 要】
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<正> 超声加工(USM)通常用于半导体、玻璃、石英、陶瓷、砖、锗、铁氧体等硬脆材料的加工。光学元件及电子元件对表面粗糙度和加工精度要求很高。Markou研究了表面粗糙度随加
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<正> 超声加工(USM)通常用于半导体、玻璃、石英、陶瓷、砖、锗、铁氧体等硬脆材料的加工。光学元件及电子元件对表面粗糙度和加工精度要求很高。Markou研究了表面粗糙度随加工参数而变化的规律。他改变超声振动的幅值、磨料粒度、携带磨料的液体类型,得出的结论是表面粗糙度与材料去除速度的平方根成正比:
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