【摘 要】
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基于对大尺寸板条晶体元件加工的技术的迫切需求,本文以Yb:YAG晶体板条元件为对象,通过从沥青盘的制作开始,对超大尺寸Yb:YAG晶体板条元件的大面、侧面、和斜角面的研磨抛光
【机 构】
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皖江新兴产业技术发展中心,安徽火天晶体科技有限公司
【基金项目】
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安徽省中央引导地方科技发展专项,项目名称:地方科研基础条件和能力建设“环抛检测系统”,项目编号:201907A03050004
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基于对大尺寸板条晶体元件加工的技术的迫切需求,本文以Yb:YAG晶体板条元件为对象,通过从沥青盘的制作开始,对超大尺寸Yb:YAG晶体板条元件的大面、侧面、和斜角面的研磨抛光进行了详细的研究,加以干涉仪在线检测的方法,建立了全套加工设备,获得了超大尺寸板条加工工艺,尤其对超大面的面型得到了很好的控制,平面度达到1/10波长。
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