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“甚至”的历时演变非常复杂，具有多重演变路径。历时上存在两种不同的“甚至”：形容词“甚至”是句法结构的并列短语词汇化形成的；现代用作副词兼连词的“甚至”是非句法结构的成分序列词汇化形成的。后者的词汇化路径是：连词一副词，其最基本的格式和连词用法“NP＋VP1＋甚至VP2”最先形成，而后再由基本格式和用法衍生发展出其他三种不同的用法和功能。共时的演绎推理和历时的演变发展并不总是完全一致，有时候基本格式和用法可能也对词语的演变路径和方向起到一定作用。