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介绍了近年来全球半导体设备和国内半导体设备现状,分析了国产半导体设备发展的机遇与挑战,对国产半导体设备的发展提出一些建议。
近期国产半导体设备的观察与思考
【摘 要】
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介绍了近年来全球半导体设备和国内半导体设备现状,分析了国产半导体设备发展的机遇与挑战,对国产半导体设备的发展提出一些建议。
【机 构】
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中国电子科技集团有限公司
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2021年5期
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