【摘 要】
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多孔硅在空气中自然氧化形成Si—O—Si键,引起晶格畸变,导致有序度下降,氧化层用HF去除,有序度可恢复。大束流电子束辐照直接引起晶粒无序化,其有序度不能在HF浸泡中恢复。
【机 构】
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南京大学物理系和固体微结构实验室,南京大学物理系和固体微结构实验室,南京大学物理系和固体微结构实验室,南京大学物理系和固体微结构实验室,南京大学物理系和固体微结构实验室,南京大学物理系和固体微结构实验
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多孔硅在空气中自然氧化形成Si—O—Si键,引起晶格畸变,导致有序度下降,氧化层用HF去除,有序度可恢复。大束流电子束辐照直接引起晶粒无序化,其有序度不能在HF浸泡中恢复。
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