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根据电子芯片的工艺特点,结合重庆市某12寸硅片加工厂房,从空调系统方案选择,空调负荷计算,空调风量计算,空调水系统设计等方面介绍了电子厂房洁净室的空调设计,并总结了设计过程中的一些要点,可为类似工程提供参考.
电子厂房洁净室空调设计
【摘 要】
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根据电子芯片的工艺特点,结合重庆市某12寸硅片加工厂房,从空调系统方案选择,空调负荷计算,空调风量计算,空调水系统设计等方面介绍了电子厂房洁净室的空调设计,并总结了设计过程中的一些要点,可为类似工程提供参考.
【机 构】
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益科德(上海)有限公司
【出 处】
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制冷与空调
【发表日期】
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2021年12期
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