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本文简述了准分子激光的发展历史、原理、现状及展望，介绍了准分子激光在染料激光、光谱学、光刻、薄膜沉积、表面处理、精密机械加工及医学领域的几种主要应用．
准分子激光近年应用的进展
【摘 要】
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本文简述了准分子激光的发展历史、原理、现状及展望，介绍了准分子激光在染料激光、光谱学、光刻、薄膜沉积、表面处理、精密机械加工及医学领域的几种主要应用．
【机 构】
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华中理工大学,华中理工大学武汉430074,武汉430074,武汉430074
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1992年1期
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