【摘 要】
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做好扫描电镜的日常维护工作并及时排除仪器常见故障是延长扫描电镜的使用寿命、维修周期和节约维修费用的重要手段。本文详细介绍了对JSM-6700F冷场发射扫描电镜进行日常维
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做好扫描电镜的日常维护工作并及时排除仪器常见故障是延长扫描电镜的使用寿命、维修周期和节约维修费用的重要手段。本文详细介绍了对JSM-6700F冷场发射扫描电镜进行日常维护的关键操作事项,并通过对JSM-6700F冷场发射扫描电镜实际操作中遇到的常见故障原因进行分析,阐述了真空系统、仪器控制系统电路、电子枪以及软件等方面故障的处理方法。
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