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介绍了Isara 400 3维超精坐标测量机标定的关键技术,包括平台标定和系统镜面台非垂直度标定。同时,提出了一种新的超精接触探针系统,给出了这种3维灵敏度探针的标定结果。
“Isara400”超精密坐标测量机的设计与标定
【摘 要】
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介绍了Isara 400 3维超精坐标测量机标定的关键技术,包括平台标定和系统镜面台非垂直度标定。同时,提出了一种新的超精接触探针系统,给出了这种3维灵敏度探针的标定结果。
【机 构】
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IBSPrecisionEngineering
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2011年9期
【基金项目】
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Supported by Nano CMM（No.FP6-026717-2）and Production 4μ（No.FP6-2004-NI-4）
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