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微机械可调谐滤波器的研制(英文)

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hudaye1234

【摘 要】

：

利用 Ga As/Al Ga As分布反馈 Bragg反射镜在 Ga As衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器 .该器件在 7V调谐电压下调谐范围达 2 8nm. A GaAs / AlGaAs distributed feedback

【作 者】

：

张瑞康 杨晓红 周震 徐应强 张玮 杜云 黄永清 任晓敏 牛智川 吴荣汉 

【机 构】

：

北京邮电大学,中国科学院半导体研究所,北京邮电大学,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,北京邮电大学,北京邮电大学,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2003年04期

【关键词】

：

可调谐 微机械 分布反馈 Bragg 调谐范围 波分复用 tunable bandwidth tuning reflective 

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利用 Ga As/Al Ga As分布反馈 Bragg反射镜在 Ga As衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器 .该器件在 7V调谐电压下调谐范围达 2 8nm. A GaAs / AlGaAs distributed feedback Bragg reflector was used to fabricate a micromechanical tuning filter on a Ga As substrate with tuning range up to 28 nm at 7V tuning voltage.

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