关于分子泵抽气性能的设计

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本文首先用图示的曲线形式讨论了单级涡轮叶列的最佳参数选择。然后着重讨论了修正后的涡轮组合叶列的性能设计,提出了与修正前不同的设计思想,对于涡轮分子泵、尤其是为复合式分子泵的性能设计提供了重要的理论依据。 In this paper, we first discuss the best choice of parameters for a single-stage turbine blade using the illustrated curve. Then, the performance design of the modified turbo combined blade train is emphatically discussed. Different design ideas are proposed before the correction, which provides an important theoretical basis for turbo molecular pump, especially for the performance design of the composite molecular pump.
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