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5. Investigation of Electrical Transport in PECVD Grown a-SiC<sub>x</sub>:H

Investigation of Electrical Transport in PECVD Grown a-SiC<sub>x</sub>:H

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：marrymattion

【摘 要】

：

Dc/ac transport characteristic of PECVD grown hydrogenated amorphous silicon carbide (a-SiCx:H) thin film was investigated in MIS (metal/insulator/semiconductor

【作 者】

：

Orhan ?zdemir Kutsal Bozkurt K 

【机 构】

：

YildizTechnicalUniversity

【出 处】

：

材料科学与应用期刊(英文)

【发表日期】

：

2011年8期

【关键词】

：

A-Sicx:H DC/AC Transport Conduction Mechanisms Apparent Activation Energy ADMITT 

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Dc/ac transport characteristic of PECVD grown hydrogenated amorphous silicon carbide (a-SiCx:H) thin film was investigated in MIS (metal/insulator/semiconductor) structure by dc current/voltage (I/V) at different temperature (T), ac admittance vs. tempera

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