Complete decoupling rebalance loop design of a micromachined electrostatically suspended gyroscope

来源 :哈尔滨工业大学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：web53dns

【摘要】

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A micromachined electrostatically suspended gyroscope(MESG)based on UV-LIGA microfabrication process was introduced.By close-loop control,the suspended rotor is

【作者】

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肖奇军陈文元崔峰李胜勇刘超英张卫平

【机构】

：

NationalKeyLaboratoryofNano/MicroFabricationTechnology,FacultyofElectronicInformation＆MechanicalElec

【出处】

：

哈尔滨工业大学学报：英文版

【发表日期】

：

2010年5期

【基金项目】

：

Sponsored by the Pre-weapons Research Fund（Grant No.9140A09020706JW0314）,,New Teacher Research Fund for the Doctoral Program of HigherEducation of China（Grant No.200802481026）

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A micromachined electrostatically suspended gyroscope(MESG)based on UV-LIGA microfabrication process was introduced.By close-loop control,the suspended rotor is kept in null position and through the torque rebalance loop,in which the output control voltag

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