【摘 要】
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二氯硅烷(H2SiCl2)是一种高价值的电子工业用原料,广泛用于外延硅晶体的化学气相沉积(CVD)和高性能太阳能电池等领域.H2SiCl2的工业化合成方法主要有歧化法、氯化法和氢化法3
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二氯硅烷(H2SiCl2)是一种高价值的电子工业用原料,广泛用于外延硅晶体的化学气相沉积(CVD)和高性能太阳能电池等领域.H2SiCl2的工业化合成方法主要有歧化法、氯化法和氢化法3种,重点介绍了歧化法中所使用的催化剂及工艺.结合使用先进的精制工艺,可满足高端电子产品的需求.同时介绍了H2SiCl2的性质、国外规范及国内外经济概况.
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