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介绍了一种新型基于可变面积原理设计的微小流量传感器，阐述了高精度微流量传感器理论设计方法、结构特点，同时也对微流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明：该传感器具有精度高、可靠性高、抗干扰能力强、结构简单、智能化等特点。
转子微小流量传感器的研制
【摘 要】
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介绍了一种新型基于可变面积原理设计的微小流量传感器，阐述了高精度微流量传感器理论设计方法、结构特点，同时也对微流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明：该传感器具有
【机 构】
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青岛半导体研究所
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2007年5期
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