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采用溶胶凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备不同膜厚的A1、Ga共掺杂透明导电ZnO薄膜．其他参数一定的情况下，通过控制旋涂次数得到不同厚度的薄膜，研究了薄膜厚度对GAZO薄膜的物相结构、表面形貌以及光电性能的影响．实验结果表明：昕制备的GAZO薄膜均为六方纤锌矿结构多晶薄膜．随着膜厚的增加，GAZO薄膜（002）衍射峰强度增强，晶粒尺寸变大，薄膜结晶质量提高．在可见光范围内薄膜的平均光学透过率大于88％，薄膜电阻率随膜厚的增加逐渐减小．膜厚为1 0层（250 nm）的GAZO薄膜光电综舍性能最佳，其平均光学透过率