【摘 要】
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为了获取高完整性轴承钢表面,课题组采用化学机械抛光技术对轴承钢进行超精密加工;研究了过氧化氢对轴承钢化学机械抛光性能的影响以及材料去除机理。实验结果表明:在乙二胺
【机 构】
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西南交通大学机械工程学院摩擦学研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金青年科学基金项目:面向超光滑、低损伤轴承钢表面的化学机械抛光机理研究(51605396)
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为了获取高完整性轴承钢表面,课题组采用化学机械抛光技术对轴承钢进行超精密加工;研究了过氧化氢对轴承钢化学机械抛光性能的影响以及材料去除机理。实验结果表明:在乙二胺四乙酸二钾盐存在的条件下,随着过氧化氢质量分数增加,轴承钢的抛光速率先急剧增大,然后逐渐减小并趋于稳定;而静态腐蚀速率先急剧减小然后趋于稳定;表面粗糙度Ra先急剧降低然后趋于稳定。结合电化学实验和X射线光电子能谱实验结果,轴承钢的材料去除机理描述如下:当过氧化氢质量分数较低时,轴承钢表面生成一层强度低、容易去除的反应层,包括铁氧化物和铁离子的乙二
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