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量块检定用激光干涉仪，采用增量式测量，性能稳定，自动化性能好，测量精度高，分辨率为０．０１μｍ，重复性误差在０．０３μｍ以内，满足新检定规程中二等量块的检定要求。
量块检定用激光干涉仪
【摘 要】
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量块检定用激光干涉仪，采用增量式测量，性能稳定，自动化性能好，测量精度高，分辨率为０．０１μｍ，重复性误差在０．０３μｍ以内，满足新检定规程中二等量块的检定要求。
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天学院
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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1996年1期
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