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一种激光辐照提高镧钡锰氧薄膜性能的方法，属功能薄膜领域。PLD制备的La1-xaBaxMnO3薄膜，TCR为4％，退火处理时间长，TCR值提高不明显。专利方法是将清洗干净的基片干燥后置于真空室内的硅板加热器上。
激光辐照提高镧钡锰氧薄膜性能的方法
【摘 要】
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一种激光辐照提高镧钡锰氧薄膜性能的方法，属功能薄膜领域。PLD制备的La1-xaBaxMnO3薄膜，TCR为4％，退火处理时间长，TCR值提高不明显。专利方法是将清洗干净的基片干燥后置于真空室
【出 处】
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热加工工艺
【发表日期】
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2008年22期
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