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论述了光刻胶级214-磺酰氯工艺路线的选择,生产方法、质量标准及分析方法,对具体工艺操作过程迚行了详细的说明,通过该工艺的操作实现了理想的收率结果,同时对214-磺酰氯在光刻胶中的作用、光刻胶的収展历史、使用原理以及在集成电路领域上的广泛应用,以及国内外光刻胶的科技动态和収展前景等迚行了详细阐述。