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用蒙特卡罗方法模拟计算了辉光放电中脉冲加速离子阵鞘层Ｎ１＾＋，Ｎ２＾＋离子到达靶阴极表面的能量分布和入射角分布。研究了靶室不同气压和不同温度下能量分布和入射角分布的变化。
高压加速辉光放电离子阵鞘层离子轰击靶阴极的蒙特卡罗模拟
【摘 要】
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用蒙特卡罗方法模拟计算了辉光放电中脉冲加速离子阵鞘层Ｎ１＾＋，Ｎ２＾＋离子到达靶阴极表面的能量分布和入射角分布。研究了靶室不同气压和不同温度下能量分布和入射角分布的变化。
【机 构】
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河北大学物理系
【出 处】
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河北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1997年1期
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