【摘 要】
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本文报导抽速为110升/秒的小型涡轮分子泵,其重量只有6公斤。装上内径为100毫米的吸气法兰后,泵的轴向长度仅为200毫米。其极限压强可达10-11毫巴。它同一个小型两级预真空泵
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本文报导抽速为110升/秒的小型涡轮分子泵,其重量只有6公斤。装上内径为100毫米的吸气法兰后,泵的轴向长度仅为200毫米。其极限压强可达10-11毫巴。它同一个小型两级预真空泵连在一起便可组成一个非常小型、全自动化的排气装置。它主要用于真空实验室、粒子加速器、质谱仪、电子显微镜以及制管工作中。
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