H^+辐照前后C—SiC涂层的XPS分析

来源 :南昌航空工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Q672855312
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对不锈钢基体上离子束混合沉积的C-SiC涂层进行了H+辐照模拟试验,由SIMS测量H+辐照前后氢的浓试分布,采用沟电子能谱(XPS)对H+辐照前后涂层元素C和Si进行了内层电子结合能的测量分析,研究C及Si的化学键态的变化与H的关系,探讨SiC涂层阻氢机理.
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