色分离光栅激光诱导损伤特性实验研究

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对色分离光栅(CSG)在1064nm Nd:YAG激光辐照下的损伤特性进行了实验研究.研究表明,湿法刻蚀CSG的损伤阈值比干法刻蚀的高,刻蚀面的损伤阈值比非刻蚀面的损伤阈值大,激光入射表面选择影响光栅面和非光栅面的损伤阈值,从非光栅面入射,这两个面的损伤阈值都比从光栅面入射的高.
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