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本文主要对臭氧氧化法、催化臭氧氧化法、芬顿试剂氧化法进行文献综述,作为城镇污水处理厂的深度处理技术,从处理效果及运营成本等多方面考虑,臭氧氧化组合工艺和芬顿试剂组合工艺要优于臭氧和芬顿试剂单一工艺,而非均相催化臭氧氧化法适用于工业废水占主导、氧化成分复杂的污水处理,臭氧电磁催化氧化法适用于生活污水占主导的污水处理。