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<正> 日本EIKO IB-3、IB-5型离子镀膜仪广泛地用于扫描电子显微镜样品的镀膜和刻蚀。本文介绍了仪器的原理(图1),在外国公司没有提供仪器线路图的情况下,根据实物,绘制了IB—5型离子镀膜仪的线路图,为同行维修人员对同类仪器的维修提供了方便;也对该仪器经常出现的故障阐明了修理方法和预防高压触电安全线路的调整方法。