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介绍了多晶硅生产的发展情况及主要工艺流程,磁力泵在多晶硅生产中的应用,详细介绍了HMD磁力泵为多晶硅生产二次控制要求进行的改进技术。
磁力泵在多晶硅装置中的应用
【摘 要】
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介绍了多晶硅生产的发展情况及主要工艺流程,磁力泵在多晶硅生产中的应用,详细介绍了HMD磁力泵为多晶硅生产二次控制要求进行的改进技术。
【机 构】
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汉胜工业设备（上海）有限公司
【出 处】
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通用机械
【发表日期】
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2010年5期
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