基于湿法与氧自由基活化工艺的低温硅-硅键合技术

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：killall2009

【摘要】

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【作者】

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张林超李玉玲尚瑛琦宋尔冬马壮陈婧佟春

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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低温硅-硅键合等离子体湿法氧自由基活化方式

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