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建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法。采用双通道气相色谱仪,DB-1毛细管色谱柱进行分离,用单丝热导检测器进行检测。
气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量
【摘 要】
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建立了气相色谱法测定多晶硅生产氢化尾气中组分含量的方法。采用双通道气相色谱仪,DB-1毛细管色谱柱进行分离,用单丝热导检测器进行检测。
【机 构】
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云南冶金云芯硅材股份有限公司,云南省光电子硅材料制备技术重点实验室
【出 处】
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中国氯碱
【发表日期】
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2019年1期
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