【摘 要】
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作为防伪标识,使用最尖端的曝光技术制作了反射型微标签(CGH)。用最新的极紫外光源在10×缩小投影曝光装置上曝光制作了150nm L—S(线条—间隔)图形。整个标签尺寸为86μm×
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作为防伪标识,使用最尖端的曝光技术制作了反射型微标签(CGH)。用最新的极紫外光源在10×缩小投影曝光装置上曝光制作了150nm L—S(线条—间隔)图形。整个标签尺寸为86μm×120μm(12×12单元,相位型)和56μm×80μm(8×8单元,相位和振幅)两种。读出波长是442 nm,介绍了包括光源在内的简单光学系统。
As a security mark, Reflective Micro-Tag (CGH) was made using state-of-the-art exposure technology. A 150 nm L-S (line-space) pattern was created by exposure to a 10 x reduction projection exposure apparatus using the latest extreme ultraviolet light source. The entire label size is 86 μm × 120 μm (12 × 12 cells, phase type) and 56 μm × 80 μm (8 × 8 cells, phase and amplitude). The readout wavelength is 442 nm, introducing a simple optical system including a light source.
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