论文部分内容阅读
本文介绍了自行发明的多热源炉合成SiC技术的基本原理。研究了炉内温度场的叠加特点和温度梯度的变化规律;对比了单热源炉、二热源炉和三热源炉的实验室合成效果。工业应用表明:三热源炉比传统单热源炉可节能10﹪~15﹪;一级品率提高30﹪;单炉产量可提高约50﹪,特级品SiC含量由传统技术的98﹪提高到99.5﹪以上。多热源工业合成SiC新技术具有节能、高质、高产和生产安全等特点,而且极便于炉体的大型化。